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AS-7B-L由測(cè)量部、避震臺(tái)、X-Y平臺(tái)、PC、控制單元、平臺(tái)控制器以及

表面觀察用光學(xué)顯微鏡、彩色顯示器、打印機(jī)等構(gòu)成。

1．對(duì)應(yīng)基板尺寸：  Max 400*500mm，t0.5-1.1mm

2．測(cè)量模式：      接觸AFM、AC-AFM、LFM(FFM)

3．最大掃描范圍：  XY=120*120μm，Z=9μm

4．分辨力：        XY=2nm，Z=0.15nm

5．噪聲電平：      <0.5nmRMS (在振動(dòng)條件良好的設(shè)置環(huán)境下)

6．XY平臺(tái)：       分辨力1μm/step ; 精度 30μm/500mm

7．光學(xué)顯微鏡：    顯示倍率  120－900倍(9”顯示器)。

  同軸落射照明：鹵素?zé)艄庠�，光纖導(dǎo)入

8．激光規(guī)格：      波長(zhǎng) 670nm，輸出功率 1mW以下(Class 2 JIS安全基準(zhǔn))

9．避震臺(tái)：        空氣彈簧方式3軸方向避震臺(tái)，具有自動(dòng)水平功能

10．隔音蓋板：     電控氣缸進(jìn)行測(cè)定部全面上部蓋板的開(kāi)閉