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  島津製作所OLS-FP凹凸檢查裝置
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產(chǎn)品型號(hào)OLS-FP
產(chǎn)品單位
生產(chǎn)廠家島津製作所
出廠年份2001年5月
產(chǎn)品用途
產(chǎn)品說明

・使用激光做為光源的顯微鏡
・由于使用激光和共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)高分辨率
・使用3D測量方式可測量臺(tái)階等
 

      (1) 手動(dòng)放板,手動(dòng)取板
      (2) 玻璃尺寸: 360mm*465mm*t1.1mm, t0.7mm
      (3) 自動(dòng)臺(tái)板
      (4) 檢查速度: 
              線寬        6點(diǎn)測量:    6min/sheet
              凹凸形狀  5點(diǎn)測量:   4min/sheet
              膜厚        5點(diǎn)測量:    5min/sheet
      (5) 激光光源: Ar Laser,波長=488nm,輸出功率5mW
      (6) 測量精度:  X方向  3σ=0.03um以內(nèi)
                           Z方向  3σ=0.14+0.04Lum以內(nèi) 
      (7) 環(huán)境潔凈度: Class 100
      (8) 設(shè)備尺寸:  本體  W1700*D1500*H2000 (mm)
                           電腦  W 800*D 800*H1200 (mm)
上一條:光電二極管陳列分光光度計(jì)/反射率測定器Multi Spec-1500
下一條:段差測定裝置(觸針式膜厚測定)
液晶設(shè)備聯(lián)系人:尹先生 觸摸材料聯(lián)系人:殷小姐
聯(lián)系電話:0755-89800161-8016 聯(lián)系電話:0755-89800161-8047
移動(dòng)電話:138 0220 7511 移動(dòng)電話:131 6872 1408
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