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  島津製作所OLS-FP凹凸檢查裝置
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產(chǎn)品型號：OLS-FP
產(chǎn)品單位：1臺
生產(chǎn)廠家：島津製作所
出廠年份：2001-5-1
產(chǎn)品用途：表面觀察
產(chǎn)品說明：

使用激光做為光源的顯微鏡
・由于使用激光和共焦點光學(xué)系統(tǒng)，可實現(xiàn)高分辨率
・使用3D測量方式可測量臺階等
 

      (1) 手動放板，手動取板
      (2) 玻璃尺寸： 360mm*465mm*t1.1mm, t0.7mm
      (3) 自動臺板
      (4) 檢查速度： 
              線寬        6點測量：    6min/sheet
              凹凸形狀  5點測量：   4min/sheet
              膜厚        5點測量：    5min/sheet
      (5) 激光光源： Ar Laser，波長=488nm，輸出功率5mW
      (6) 測量精度：  X方向  3σ=0.03um以內(nèi)
                           Z方向  3σ=0.14+0.04Lum以內(nèi) 
      (7) 環(huán)境潔凈度： Class 100
      (8) 設(shè)備尺寸：  本體  W1700*D1500*H2000 (mm)
                           電腦  W 800*D 800*H1200 (mm)
上一條：反射率測定裝置
下一條：段差測定裝置（觸針式膜厚測定）
液晶設(shè)備聯(lián)系人：尹先生 觸摸材料聯(lián)系人：殷小姐
聯(lián)系電話：0755-89800161-8016 聯(lián)系電話：0755-89800161-8047
移動電話：138 0220 7511 移動電話：131 6872 1408
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