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1:裝有觸針式臺階測定器（KLA-Tencor)的膜厚測定器 
2:可以進行較大基板的膜厚自動測定 
1．基板尺寸:最大670mm*670mm

2．測量范圍 ：670mm*670mm
3．X－Y臺
   驅(qū)動距離 :670mm*670mm (電機驅(qū)動)
   定位重復(fù)精度  :2um/1 Sigma (含觸針下降精度)
4．旋轉(zhuǎn)臺
   回轉(zhuǎn)角度  :0-360º
   分辨能力  :0.1º
   定位重復(fù)精度  :4um/1 Sigma (離開回轉(zhuǎn)中心100mm處的位置重復(fù)精度)
5.垂直方向分辨力/范圍   :2.0Å/±13um 
                        :10.0Å/±65um
6.測量重復(fù)性
   測量范圍13um時、具有10Å(1 sigma)的重復(fù)性