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日立HitecFB-2100聚焦離子束加工觀察裝置(FIB) |
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| 產(chǎn)品型號(hào)：FB-2100 |
| 產(chǎn)品單位：1臺(tái) |
| 生產(chǎn)廠家：日立Hitec |
| 出廠年份：2004年6月 |
| 產(chǎn)品用途：精細(xì)加工、蒸鍍及表面觀察 |
| 產(chǎn)品說(shuō)明： |
・使用匯聚的鎵離子束進(jìn)行納米量級(jí)的精細(xì)加工
・將銅、鋁等元素用低能量加速后使其蒸鍍?cè)谖矬w表面
・用匯聚離子束將表面附著的分子進(jìn)行分解，使其在表面堆積
・將匯聚離子束照射表面時(shí),通過(guò)測(cè)定飛出的2次電子像進(jìn)行表面觀察 |
1. 綜合規(guī)格
(1) 分辨力 6nm以下
(2) 最大束電流 30nA以上
(3) 束最大電流密度 25A/cm2以上
(4) 束位置穩(wěn)定性 30nm/min以下(共心臺(tái)使用時(shí))
(5) 倍率(顯示器上) 700-90,000倍(共心臺(tái)使用時(shí))
(40kV時(shí)，可以設(shè)定300,000倍)
2．離子光學(xué)系
(1)離子源
離子種類 Ga
壽 命 1000小時(shí)
發(fā)射極位置調(diào)整 手動(dòng)
(2)透鏡 2段靜電式透鏡
(3)非點(diǎn)補(bǔ)正 8極靜電式
(4)X,Y偏向 8極靜電式
(5)消隱 靜電式
(6)緊縮 電動(dòng)可動(dòng)式CPU控制
(7)加速電壓 10-40kV(可變)
(8)最小束徑 6nm(像分辨力) |
| 上一條：段差測(cè)定裝置（觸針式膜厚測(cè)定） |
| 下一條：電場(chǎng)放射型掃描電子顯微鏡(FE-SEM) |
| 液晶設(shè)備聯(lián)系人：尹先生 |
觸摸材料聯(lián)系人：殷小姐 |
| 聯(lián)系電話：0755-89800161-8016 |
聯(lián)系電話：0755-89800161-8047 |
| 移動(dòng)電話：138 0220 7511 |
移動(dòng)電話：131 6872 1408 |
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