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  日立HitecS-4800電場放射型掃描電子顯微鏡(FE-SEM)
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產(chǎn)品型號：S-4800
產(chǎn)品單位：1臺
生產(chǎn)廠家：日立Hitec
出廠年份：2004年6月
產(chǎn)品用途：表面觀察
產(chǎn)品說明：
・使用電場放射的電子對需要觀察的物體進(jìn)行照射，通過2次電子和反射電子像得到表面形狀。
・如追加2次電子的能量分布分析裝置，則可以解析表面成分
 
1．二次電子分辨力
    1.0nm (加速電壓15kV，WD=4mm)
    2.0nm (加速電壓1kV，WD=4mm，標(biāo)準(zhǔn)模式)
    1.4nm (照射電壓1kV，WD=1.5mm，Retarding模式)
 
2．倍率
    LM模式 ×20～×2,000 (依WD不同，最低倍率不同)
    HM模式 ×100～×800,000 (依WD、HV不同，最低倍率與最高倍率不同)
 
3．試料尺寸    150mmφ (MAX)
 
4．載物臺
    載物臺控制             5軸電機驅(qū)動
    載物臺移動范圍      X方向           0 ～ 110mm
                                 Y方向           0 ～ 110mm
                                 Z方向(WD)    1.5 ～ 40mm
                                 T(傾斜角)     -5 ～ 70°
                                 R(回轉(zhuǎn)角)     360°
 
5．電氣視野移動范圍    ±12um(WD=8mm時)

 
上一條：聚焦離子束加工觀察裝置(FIB)
下一條：傅立葉變換紅外分光光度計(FT-IR)
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